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當(dāng)前位置：首頁   >  產(chǎn)品中心  >  掃描電子顯微鏡  >  掃描電鏡SEM  >  HEM6000國儀量子高速掃描電子顯微鏡

國儀量子高速掃描電子顯微鏡

簡要描述：國儀量子高速掃描電子顯微鏡HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。
采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。
面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

  • 產(chǎn)品型號：HEM6000
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-07-24
  • 訪  問  量：3122

詳細(xì)介紹

高速掃描電子顯微鏡 HEM6000

 

HEM6000是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復(fù)合物鏡等技術(shù)，實現(xiàn)了高速圖像采集和成像，同時保證了納米級分辨率。面向應(yīng)用場景的自動化操作流程設(shè)計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達(dá)常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。

核心技術(shù)


高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品優(yōu)勢

高速自動化

全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍

低壓高分辨

樣品臺減速技術(shù)，實現(xiàn)低落點(diǎn)電壓，同時保證高分辨率

大場低畸變  

跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變

應(yīng)用領(lǐng)域

 


應(yīng)用案例

大規(guī)模成像

高速掃描電子顯微鏡產(chǎn)品參數(shù)
關(guān)鍵參數(shù) 分辨率 1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE；
2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；
加速電壓 100 V~6 kV(減速模式)
6 kV~30 kV(非減速模式)
放大倍率 66~1,000,000x
電子槍類型 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
物鏡類型 浸沒式電磁復(fù)合物鏡
樣品裝載系統(tǒng) 真空系統(tǒng) 全自動控制，無油真空系統(tǒng)
樣品監(jiān)控 樣品倉監(jiān)控水平攝像頭 ； 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭
樣品最大尺寸 直徑4英寸
樣品臺 類型 電機(jī)驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺）
行程

X、Y軸：110mm；

Z軸：28mm；
重復(fù)定位精度

X軸：±0.6μm；

Y軸：±0.3μm；
換樣方式 全自動控制
換樣時間 ＜15 min
換樣倉清洗 全自動控制等離子清洗系統(tǒng)
圖像采集與處理 駐點(diǎn)時間 10 ns/pixel
圖像采集速度 2*100 M pixel/s
圖像大小 8K*8K
探測器和擴(kuò)展 標(biāo)配 鏡筒內(nèi)混合電子探測器
選配 低角度背散射電子探測器
鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器
壓電驅(qū)動樣品臺
高分辨大場模式
樣品倉等離子清洗系統(tǒng)
6英寸樣品裝載系統(tǒng)
主動減震臺
AI降噪；大圖拼接；三維重構(gòu)
軟件 語言 中文
操作系統(tǒng) Windows
導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
自動功能 自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散

 

 

 

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