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電子槍類型：高亮度肖特基場發(fā)射電子槍

分辨率：1 nm @ 15 kV 

1.5 nm @ 1 kV

放大倍率：1 ~ 1000000 x

加速電壓：20 V ~ 30 kV

電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

鏡筒內(nèi)減速，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證

電子光路無交叉，有效降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力

水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機械調(diào)節(jié)，實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換