金相顯微鏡(metallurgical microscope)是用入射照明來(lái)觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡,它是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)結(jié)合在一起而開(kāi)發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品,可以在計(jì)算機(jī)上很方便地觀察金相圖像,從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析,評(píng)級(jí)等以及i圖片進(jìn)行輸出、打印。金相顯微鏡是光學(xué)顯微鏡的一種,分辨率相對(duì)電鏡小,微米級(jí)分辨率,放大倍數(shù)小,但它易于操作、視場(chǎng)較大、價(jià)格相對(duì)低廉。
掃描電鏡一種新型的電子光學(xué)儀器。它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)。數(shù)十年來(lái)掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中,促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。掃描電鏡的特點(diǎn):電鏡,圖像分辨率高,納米級(jí)分辨率,放大倍數(shù)可調(diào)且大,另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大,圖象富立體感。
兩種顯微鏡存在很大的區(qū)別,主要有以下幾方面:
一、光源不同:金相顯微鏡采用可見(jiàn)光作為光源,掃描電鏡采用電子束作為光/成像。
二、原理不同:金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像,掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面,激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào),再利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。
三、分辨率:金相顯微鏡因?yàn)楣獾母缮媾c衍射作用/分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因?yàn)椴捎秒娮邮鳛楣庠?,其分辨率可達(dá)到1-3nm之間,因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級(jí)分析,掃描電鏡的組織觀測(cè)屬于納米級(jí)分析。
四、景深:一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間,因此對(duì)樣品的表面光滑程度具有高要求,所以制樣過(guò)程相對(duì)比較復(fù)雜。掃描電鏡的景深則可高達(dá)幾個(gè)。